世界の集積回路製造分野では、生産能力の制約が常態化しており、過去2年間で中国の集積回路関連分野への投資が大幅に増加しています。この投資ブームは、半導体デバイス装置、電子部品、特殊電子材料製造業の急速な発展を促進しただけでなく、PEEKのような高性能材料への需要の急増も引き起こしました。
PEEK（ポリエーテルエーテルケトン）材料は、その優れた耐熱性、耐摩耗性、寸法安定性、耐化学薬品性、および加工の容易さにより、半導体製造において比類のない利点を発揮しています。特にウェーハクランプの分野では、PEEKウェーハクランプがその独特な特性により不可欠なツールとなっています。これらのクランプはウェーハの完全性を確保し、生産効率を大幅に向上させ、歩留まりを改善します。その結果、PEEKウェーハクランプは半導体業界でますます注目され、広く応用されるようになっています。
PEEKウェーハクランプの核心的な利点は以下の通りです：
1. 汚染のないクランプ
PEEKウェーハクランプは、極めて高純度の改質PEEK粒子を使用しており、シリコンウェーハを汚染する可能性のある微量元素はほとんど含まれていません。これにより、クランプ工程中の絶対的な安全性が確保されます。
2. 帯電防止保護
PEEKウェーハクランプは優れた帯電防止特性を持ち、表面抵抗率は10⁵から10¹⁰Ωの範囲です。クランプヘッドの抵抗率は10⁷から10⁸Ωに達することもあり、シリコンウェーハへの静電気放電（ESD）損傷を効果的に防止し、包括的な保護を提供します。
3. 高温安定性
PEEKウェーハクランプは、260°Cまでの高温環境で動作可能でありながら、高い強度、寸法安定性、低い熱膨張係数を維持します。その優れた耐スライド摩耗性と耐微動摩耗性により、クランプ時にウェーハやシリコンチップの表面に傷や残留物が生じず、表面清浄度が保たれます。
特に、俊華社が開発したPEEK5600ESDZ01ペレットは、静電気問題に対処するために特別に設計された帯電防止材料です。10510^5105から10910^9109Ωの安定した制御可能な表面抵抗率を有し、帯電防止特性、加工性、外観において卓越した性能を発揮します。電子機器、半導体、石油産業などで幅広く応用され、静電気による損失を効果的に低減します。
さらに、これらの帯電防止ペレットは、防爆製品の筐体や構造部品、例えば電気製品の筐体や、炭鉱、タンカー、油田における構造部品などにも使用されています。これは、その幅広い応用の可能性と巨大な市場ポテンシャルを示しています。